Bộ phận chính xác là phôi hoặc bộ phận cần có thang đo chính xác đến micron hoặc thậm chí nhỏ hơn. Nhìn chung, các bộ phận có độ chính xác cao cần phải tuân theo các tiêu chuẩn cao và quy trình nghiêm ngặt khi sản xuất, cả từ vật liệu lẫn công nghệ gia công đều đòi hỏi kỹ năng rất cẩn thận.